真空泵真空度無(wú)法達(dá)到預(yù)期，通常與設(shè)備本身、系統(tǒng)密封、操作環(huán)境或負(fù)載等因素相關(guān)，可從以下幾類原因逐步排查：

一、真空泵自身故障

1. 泵型選型不當(dāng)
   不同類型真空泵的極限真空度不同（如旋片泵極限真空約 10?²Pa，擴(kuò)散泵可達(dá) 10??Pa），若所選泵的理論極限真空度低于需求值，則無(wú)論如何調(diào)試都無(wú)法達(dá)標(biāo)。例如：用普通旋片泵想達(dá)到高真空（<10?³Pa），必然失敗。
2. 核心部件磨損或老化

   • 密封件（如 O 型圈、油封）老化、開裂，導(dǎo)致泵內(nèi)漏氣（如旋片泵的旋片與缸體間隙過(guò)大，無(wú)法形成有效密封）。

   • 葉片、轉(zhuǎn)子等運(yùn)動(dòng)部件磨損，破壞泵內(nèi)真空腔的密封性，抽氣效率下降。

3. 工作介質(zhì)問(wèn)題

   • 油式真空泵（如旋片泵）：油量不足（無(wú)法填充間隙密封）、油質(zhì)劣化（混入雜質(zhì)、水分，粘度下降）、油型號(hào)錯(cuò)誤（如用普通機(jī)油替代真空泵專用油，密封效果差）。

   • 無(wú)油真空泵（如渦旋泵）：泵腔內(nèi)部污染（灰塵、水汽凝結(jié)），影響轉(zhuǎn)子貼合度。
     
     
     

      

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二、真空系統(tǒng)漏氣

1. 管道與連接部件漏氣

   • 管道焊接缺陷（針孔、虛焊）、法蘭 / 接頭密封不良（墊片老化、未壓緊、型號(hào)不匹配，如橡膠墊片用于高真空?qǐng)鼍耙茁猓?/span>

   • 閥門故障：真空閥門未打開、閥芯磨損、閥座密封面劃傷，導(dǎo)致氣體從閥門縫隙滲入。

2. 被抽容器漏氣

   • 容器本身有裂縫、砂眼，或蓋子 / 接口密封不嚴(yán)（如玻璃容器的磨砂口未涂真空脂，金屬容器的焊縫泄漏）。

   • 容器內(nèi)部的部件（如密封圈、觀察窗）老化，導(dǎo)致大氣滲入。

3. 測(cè)量?jī)x器誤差
   真空計(jì)（如皮拉尼計(jì)、電離計(jì)）本身校準(zhǔn)失效或安裝不當(dāng)（如傳感器污染、引線密封不良），可能誤判 “真空度不達(dá)標(biāo)”，需用標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)交叉驗(yàn)證。
   
   

三、操作與環(huán)境因素

1. 進(jìn)氣口堵塞或負(fù)載過(guò)大

   • 進(jìn)氣口被異物（灰塵、雜質(zhì)）堵塞，抽氣通路受阻，泵無(wú)法有效抽除系統(tǒng)內(nèi)氣體。

   • 系統(tǒng)內(nèi)持續(xù)產(chǎn)生氣體（如材料放氣：塑料、橡膠等部件在真空下釋放吸附的氣體；化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)氣），且產(chǎn)氣量超過(guò)泵的抽氣速率，導(dǎo)致真空度停滯。

2. 環(huán)境影響

   • 環(huán)境溫度過(guò)高：泵體散熱不良，導(dǎo)致油溫升高、粘度下降，密封性能減弱（尤其油式泵）。

   • 環(huán)境濕度大：系統(tǒng)內(nèi)水汽無(wú)法被有效排除（如未裝冷凝捕集器），水汽在泵內(nèi)凝結(jié)，破壞真空（水汽會(huì)降低油的密封性，或在泵腔形成液封障礙）。

3. 前級(jí)泵匹配問(wèn)題
   對(duì)于多級(jí)真空系統(tǒng)（如羅茨泵 + 前級(jí)旋片泵），若前級(jí)泵的真空度未達(dá)到主泵的啟動(dòng)要求（如羅茨泵需前級(jí)泵抽到 10Pa 以下才能啟動(dòng)），主泵無(wú)法正常工作，導(dǎo)致系統(tǒng)真空度上不去。
   
   

四、排查與解決步驟

1. 先檢查真空泵：確認(rèn)型號(hào)是否匹配需求，更換合格工作介質(zhì)（如真空泵油），觀察泵運(yùn)行是否有異響（判斷部件磨損）。

2. 檢測(cè)系統(tǒng)漏氣：用 “肥皂水法”（涂抹可疑接口，觀察是否冒泡）或氦質(zhì)譜檢漏儀定位漏點(diǎn)，更換密封件、修復(fù)管道 / 容器。

3. 排除負(fù)載與環(huán)境問(wèn)題：清理進(jìn)氣口，檢查系統(tǒng)內(nèi)是否有持續(xù)產(chǎn)氣源，改善散熱、降低環(huán)境濕度。

4. 校準(zhǔn)真空計(jì)：確認(rèn)測(cè)量值準(zhǔn)確性，避免誤判。